목록wafer (1)
호랑사과
물리전자 3주차
Miller Index는 격자점 또는 격자면들이 어떤 방향으로 배치가 되어있는지를 나타내는 지수입니다. 벡터와 다르게 정수로만 표현을 합니다. 이것의 쓰임새는 반도체의 Wafer 공정 시에 사용됩니다. 격자점의 방향을 나타내는 Direction은 [u v w]로 표시합니다. 회전(또는 평행이동, 대칭, Symmetry) 등을 해서도 같은 모양의 묶음을 family라고 합니다. Direction의 family의 표현법은 로 표현합니다. 격자면을 나타내는 Plane는 (h k l)로 표시합니다. 또한 이 family의 표현법은 {h k l}로 표현합니다. 먼저 Direction를 표현하는 예시를 들겠습니다. 축의 한 칸당 길이를 a라고 정하면 화살표가 가리키는 곳은 x, y, z 순으로 ‘0, -a, 2a’..
수업정리/물리전자
2015. 3. 16. 23:25